- 作者：公顺
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- 发布时间：2026-05-23
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반도체 웨이퍼 위에 쌓이는 박막의 두께를 정밀하게 측정하는 차세대 계측 장비다. 박막에 빛을 비춰 반사된 빛의 변화를 분석하는 방식으로, 기존 장비가 빛의 파장(색)만을 측정 변수로 사용했다면 헬리오스의 ‘마이크로 엘립소메트리(Micro Ellipsometry)’는 파장과 각도를 동시에 활용한다. 하나의 대물렌즈로 다양한 각도와 파장의 빛을 한 번에 분석해
舍尔 161胜3. 邓肯 157胜4. 霍里 155胜5. 贾巴尔 154胜
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